為便于供應商及時了解政府采購信息， 根據《財政部關于開展政府采購意向公開工作的通知》 （財庫〔〕號）等有關規(guī)定，現將山東大學年（第九十九批）月政府采購意向公開政府采購意向公開如下： 序號 采購項目名稱 意向編號 采購品目 采購需求概況 預算金額(萬元) 預計采購日期 備注 干法刻蝕設備 電子工業(yè)專用生產設備 采購干法刻蝕設備套，能完成英寸碳化硅晶圓刻蝕工藝，設備采用獨立刻蝕腔室，單片式運行及搬運功能，全自動機臺，雙射頻匹配調控，配備路氣體，最小刻蝕線寬為.μ。 年月 物理氣相沉積設備 電子工業(yè)專用生產設備 采購物理氣相沉積設備臺，應用于、、、四種金屬的沉積，需各個金屬配備獨立腔室以及單獨的預處理腔室，四種金屬薄膜在英寸晶圓上的片內均一性能夠達到%，滿足碳化硅功率器件制備的金屬鍍膜需求。 年月 等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng) 電子工業(yè)專用生產設備 采購等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)臺，應用于沉積和薄膜，適用于英寸晶圓，片內均一性和片間均一性&;%,工藝溫度到攝氏度。 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。 山東大學招標采購管理中心 年月日
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