項(xiàng)目概況 東南大學(xué)集成電路學(xué)院高溫化學(xué)氣相沉積外延爐采購(gòu)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在交易平臺(tái)(://..)獲取招標(biāo)文件,并于年月日點(diǎn)分(北京時(shí)間)前遞交投標(biāo)文件。 一、項(xiàng)目基本情況 .項(xiàng)目編號(hào): .項(xiàng)目名稱(chēng):東南大學(xué)集成電路學(xué)院高溫化學(xué)氣相沉積外延爐采購(gòu)項(xiàng)目 .預(yù)算金額:萬(wàn)元 .最高限價(jià):萬(wàn)元 .采購(gòu)需求: 項(xiàng)目地點(diǎn):東南大學(xué)無(wú)錫校區(qū) 項(xiàng)目概況:集成電路學(xué)院采購(gòu)高溫化學(xué)氣相沉積外延爐套,主要技術(shù)要求如下: ()高溫化學(xué)氣相沉積外延爐一臺(tái),需同時(shí)實(shí)現(xiàn)型碳化硅外延生長(zhǎng)和型碳化硅外延生長(zhǎng)及其他氣相沉積工藝;采用單腔傳片的水平式或垂直式結(jié)構(gòu);允許最大晶圓尺寸英寸,并可向下兼容寸整晶圓; ()工藝反應(yīng)氣體包括/、,工藝載氣,摻雜源包括和; ()設(shè)備需同時(shí)具備型和型碳化硅外延生長(zhǎng)能力,并且提供型碳化硅外延生長(zhǎng)相關(guān)的腔體及配件,和型碳化硅外延生長(zhǎng)相關(guān)的腔體及配件,以及按照至少的外延生長(zhǎng)厚度備件; ()需將設(shè)備搬運(yùn)至指定地點(diǎn),完成卸貨、搬入實(shí)驗(yàn)室,并且提供設(shè)備在二次配過(guò)程中的必需物件及調(diào)試設(shè)備,所有二次配費(fèi)用包含在總報(bào)價(jià)中。 不接受進(jìn)口產(chǎn)品投標(biāo),技術(shù)參數(shù)詳見(jiàn)招標(biāo)文件。 .合同履行期限:合同簽訂后個(gè)月設(shè)備安裝調(diào)試合格。 .行業(yè)劃分:工業(yè) . 本項(xiàng)目(非專(zhuān)門(mén))面向中小企業(yè)采購(gòu)。 . 本項(xiàng)目(非專(zhuān)門(mén))面向監(jiān)獄企業(yè)來(lái)購(gòu)。 . 本項(xiàng)目 (非專(zhuān)門(mén))面向殘疾人福利性單位采購(gòu)。 . 本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。 二、申請(qǐng)人的資格要求 .滿(mǎn)足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定; ()具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力(提供法人或者其他組織的營(yíng)業(yè)執(zhí)照;供應(yīng)商為自然人的,提供其身份證); ()具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度(提供年度的財(cái)務(wù)報(bào)告,或投標(biāo)截止時(shí)間前六個(gè)月內(nèi)銀行出具的資信證明); ()具有履行合同所必需的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)能力(供應(yīng)商根據(jù)履行采購(gòu)項(xiàng)目合同需要,提供履行合同所必需的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)能力的證明材料); ()有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄(提供參加本次政府采購(gòu)活動(dòng)前半年內(nèi)至....
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