蘇美達國際技術(shù)貿(mào)易有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標,于--在中國國際招標網(wǎng)公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。 、招標條件 項目概況:設(shè)備名稱:多晶硅、硅刻蝕機 數(shù)量:臺 設(shè)備原理及用途: 基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應(yīng)生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時有側(cè)壁淀積作用,防止側(cè)腐,生成物被抽出腔體,最終達到刻蝕的目的。 用途:本設(shè)備為全新設(shè)備,主要用于英寸器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。 資金到位或資金來源落實情況:已到位 項目已具備招標條件的說明:已具備 、招標內(nèi)容 招標項目編號:-/ 招標項目名稱:英寸晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機 項目實施地點:中國安徽省 招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備): 序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術(shù)規(guī)格 備注 多晶硅、硅刻蝕機 該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng),全自動傳輸系統(tǒng),個刻蝕工藝腔,尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng),氣路系統(tǒng),制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設(shè)備按照滿配來配置相關(guān)氣管、、電磁閥、μ 和 等,便于未來增加工藝腔體(設(shè)備主體需要至少保留增加個工藝腔的、、/、等)。其他參數(shù)詳見第八章 無 、投標人資格要求 投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:①投標人如為境內(nèi)企業(yè),提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書,如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊登記證。 ②投標人可以是設(shè)備制造廠家,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書。 ③投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復印件。 ④投標人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力(提供相關(guān)證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。 ⑤單位負責人授權(quán)書原件。 是否接受聯(lián)合體投標:不接受 未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以 、招標文件的獲取 招標文件領(lǐng)購開始時間:-- 招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:-- 是否在線售賣標書:否 獲取招標文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購 招標文件領(lǐng)購地點:蘇美達大廈....
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