垂直流熱型原子層沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 垂直流熱型原子層沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 溫度范圍：~℃，控溫精確度±℃ 內(nèi)腔材質(zhì)：合金 金屬沾污：&;/； 本底真空：≤ 腔室真空漏率：≤-./ 機(jī)械（膜內(nèi)）顆粒：.&; 個(gè) 滿足以下至* 小片加工 膜厚片內(nèi)片間均勻性:(&;%) 熱源≧個(gè)，液源≧個(gè)，工藝氣路≧路 臭氧發(fā)生器： ≧% 干泵抽速 ≧ / （配分子泵） 閥門(mén)響應(yīng)時(shí)間： ≤ 閥門(mén)最高溫度： ≤ ℃ 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。