吋晶圓級(jí)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 吋晶圓級(jí)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 項(xiàng)目設(shè)計(jì)制備具有多種元素?fù)诫s的無(wú)定形碳化物薄膜介質(zhì)材料來(lái)替代傳統(tǒng)二氧化硅介質(zhì)材料，通過(guò)在介質(zhì)界面處形成蓄水池結(jié)構(gòu)，從而有效抑制水汽等副產(chǎn)物帶來(lái)的孔洞問(wèn)題。此外，芯片的多層堆疊需要涉及帶有臨時(shí)鍵合膠的薄晶圓沉積工藝，要求沉積溫度低于℃，晶圓制造段設(shè)備主要用于氧化物沉積無(wú)法滿(mǎn)足三維異質(zhì)異構(gòu)集成所需薄膜種類(lèi)和沉積溫度需求，項(xiàng)目承擔(dān)單位目前無(wú)相關(guān)設(shè)備，因此急需要購(gòu)置本設(shè)備用于三維異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)開(kāi)發(fā)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。