等離子體多層薄膜/粉體沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 浙江大學年至月政府采購意向 采購單位： 浙江大學 采購項目名稱： 等離子體多層薄膜/粉體沉積系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -真空應用設備 采購需求概況 ： 等離子體多層薄膜/粉體沉積系統(tǒng)采購 擬采購一臺等離子體多層薄膜/粉體沉積系統(tǒng)，技術結合技術，實現(xiàn)精確控制和高質量沉積，可以通過調(diào)控沉積參數(shù)和層次，能精確定制材料的結構、組成和性能，并制備納米顆粒和納米薄膜。數(shù)量一臺。具體參數(shù)要求： .內(nèi)外雙腔結構，內(nèi)腔可拆卸；.包含 套粉末樣品內(nèi)腔和 套平面內(nèi)腔；.反應溫度最高 ℃；.高性能真空泵系統(tǒng)（機械泵+吸附井）；.沉積自動控制軟件系統(tǒng)；.腔室真空漏率＜×- ·/；.平面樣品內(nèi)腔：可放下 片 英寸硅片；.粉末樣品倉：具有 個獨立的粉體樣品倉，可同時沉積 種不同的粉體樣品；.每個粉體樣品倉可以放置 左右的粉末；.反應溫度：最高 ℃（使用低溫內(nèi)腔最高 ℃）。.在 英寸晶圓上沉積 循環(huán)氧化鋁，以晶圓上至少 個均勻分散點（邊緣 毫米除外）進行膜厚測試，膜厚非 均勻性≤±%為合格；. 高性能真空系統(tǒng)，整機極限真空＜× -，真空漏率＜ × - ·/ 包含： . 高性能機械泵，額定抽速＞ 3/； 采購設備需滿足相應設備技術參數(shù)中的各項指標要求。賣家提供質保服務，一年免修，前三年每年一次固定維護。工程師提供上門儀器安裝，全套儀器使用教學，產(chǎn)品質量達到設計要求，安裝調(diào)試各項指標符合招標技術參數(shù)，其售后服務應滿足：（）不論質保期內(nèi)外，賣方應當提供*小時電話支持服務；（）質保期內(nèi)因產(chǎn)品質量出現(xiàn)問題，買方有權要求賣方予以無條件維修、更換或退貨；（）質保期內(nèi)所有的配件和人工費用由廠家承擔；（）廠商應及時免費提供合同貨物軟件的升級，免費提供合同貨物新....