高真空電子束蒸鍍系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向: 西安交通大學(xué)年月政府采購意向 采購單位: 西安交通大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱: 高真空電子束蒸鍍系統(tǒng) 預(yù)算金額: .萬元(人民幣) 采購品目: 其他分析儀器 采購需求概況 : 本項(xiàng)目采購高真空電子束蒸鍍系統(tǒng)套,主要用于量子器件領(lǐng)域中薄膜電極、柵極、導(dǎo)電層等關(guān)鍵組件及光學(xué)薄膜的高精度制備研究,要求實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定可控的薄膜沉積速率和精準(zhǔn)膜厚,具備高真空環(huán)境下的電子束加熱功能,并由膜厚監(jiān)控儀和控制系統(tǒng)確保沉積過程的精確性和可重復(fù)性。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間: - 備注: 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
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