透射電子顯微鏡()、聚焦離子束顯微鏡()以及二次離子質(zhì)譜()等半導(dǎo)體測(cè)試分析 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 透射電子顯微鏡()、聚焦離子束顯微鏡()以及二次離子質(zhì)譜()等半導(dǎo)體測(cè)試分析 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -技術(shù)測(cè)試和分析服務(wù) 采購需求概況 ： 微電子研究所先導(dǎo)工藝研發(fā)中心主要承擔(dān)集成電路先進(jìn)器件與關(guān)鍵工藝的研發(fā)工作，先進(jìn)工藝與器件的研發(fā)過程中，需要大量使用例如（透射電子顯微鏡）、（聚焦離子束）等先進(jìn)的物理分析手段進(jìn)行物理結(jié)構(gòu)表征，以及例如（二次離子質(zhì)譜）、（能量散射型射線熒光光譜）等先進(jìn)的成分分析手段進(jìn)行元素分布表征，先導(dǎo)中心不具備分析測(cè)試能力，需要委外進(jìn)行。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。