深圳大學(xué)甲酸回流刻蝕系統(tǒng)意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 甲酸回流刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況: 甲酸回流刻蝕系統(tǒng)需深度融合無氧環(huán)境控制、多材料改性、智能參數(shù)調(diào)控與數(shù)據(jù)驅(qū)動優(yōu)化技術(shù)，構(gòu)建半導(dǎo)體異質(zhì)異構(gòu)集成核心裝備。系統(tǒng)通過自動甲酸回流機(jī)（支持/英寸晶圓，氧濃度動態(tài)控制≤）實(shí)現(xiàn)高可靠性互連，結(jié)合板級槽式玻璃通孔蝕刻機(jī)（-μ孔徑靈活加工）的蝕刻控制，及強(qiáng)酸供液系統(tǒng)（/高效供液）的精準(zhǔn)化學(xué)管理，形成從材料鍵合到結(jié)構(gòu)成型的全鏈條解決方案。 預(yù)計采購時間: - 聯(lián)系人: 張老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)