深圳大學玻璃通孔金屬化填充與拋光系統(tǒng)意向公開 采購單位: 深圳大學 項目名稱: 玻璃通孔金屬化填充與拋光系統(tǒng) 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 電子工業(yè)生產設備 采購需求概況: 本項目主要包含玻璃通孔金屬化填充設備與化學機械拋光設備兩大核心系統(tǒng)。玻璃通孔金屬化填充設備專為實現(xiàn)（ ）內部高精度銅填充而設計，具備以下技術特性：）可完美實現(xiàn)-μ孔徑范圍內的孔內銅均勻填充，銅填充均勻性（）高達%以上；）兼容英寸和英寸標準晶圓加工，支持.-.厚度范圍的玻璃基板處理。設備集成先進的真空預浸系統(tǒng)和精密電鍍系統(tǒng)（含陰陽極配置），配套高精度超聲波流量計（精度達±.%）和智能天車系統(tǒng)（重復定位精度≤±.），確保工藝過程的高度可控性。 化學機械拋光設備采用全自動化設計，主要功能包括：）選擇性去除表面凸起金屬，實現(xiàn)晶圓表面納米級平坦化；）支持/英寸晶圓雙面同步處理，提供刷內出液和刷外滴液兩種化學品供給模式；）配備高性能滾刷系統(tǒng)（轉速≥）和精密旋轉平臺（晶圓轉速-可調），并具備高速甩干功能（≥）。該設備特別優(yōu)化了清洗工藝，通過多級刷洗單元和智能終點檢測系統(tǒng)，確保表面處理的一致性和可靠性。 預計采購時間: - 聯(lián)系人: 張老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準