芯片級測試平臺 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 芯片級測試平臺 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他試驗儀器及裝置 采購需求概況 ： 適合英寸以下晶圓測試，電機行程在/方向均為&;=；對同一晶圓上的同一器件，光學(xué)對準(zhǔn)重現(xiàn)性&;.；雙波長耦合光源：輸出及的單點光源；高分辨率芯片移動滑臺：可調(diào)節(jié)及度旋轉(zhuǎn)。 預(yù)計采購時間： - 備注： / 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。