為便于供應(yīng)商及時了解政府采購信息, 根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》 (財庫〔〕號)等有關(guān)規(guī)定,現(xiàn)將物理學(xué)院、中原之光實驗室電子束蒸發(fā)鍍膜儀采購項目等項政府采購意向公開如下: 序號 意向編號 采購項目名稱 采購需求概況 預(yù)算金額(萬元) 預(yù)計采購日期 備注 物理學(xué)院、中原之光實驗室電子束蒸發(fā)鍍膜儀采購項目 真空腔室: ()。前后門(鋁)帶φ觀察窗:前門自動平移,后門手動(把手)。抽氣口(帶過濾),接口:底部電子槍,頂部。烘烤:≤℃。帶窗及。漏率&; .×??·/。 抽氣與真空: 分子泵(/) + 機泵(/)。極限真空&;.- (分鐘恢復(fù)至.-)。閥門:氣動角閥(預(yù)抽/前級),插板閥(主)。復(fù)合真空計(大氣~-)。 電子槍(-): 加速電壓-~- (/.)?!闫D(zhuǎn)。掃描范圍± (/)。操作真空&;×?。水冷~/。配*坩堝及手操器。 樣品臺: 英寸兼容。旋轉(zhuǎn)(-),升降(步進/)。水冷(不控溫)。電動擋板。 膜厚儀: - (基板側(cè)晶體/快換)。速率分辨率&;.?/。 水冷保護: 總進出水接~℃制冷機。出水水流傳感器異常報警。 控制: 寸觸摸屏+??兀罕瞄y啟停/狀態(tài)、互鎖(抽/放)、實時溫度(設(shè)置/顯示曲線)、擋板位置。聲光報警(水壓/氣壓/門位/分子泵/膜厚探頭)。急停:關(guān)主閥/分子泵/電源。 功能: 自動抽真空/停機,工藝手動。 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。 鄭....
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