真空?qǐng)F(tuán)簇腔體 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 真空?qǐng)F(tuán)簇腔體 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購(gòu)品目： 真空獲得設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的物名稱：真空?qǐng)F(tuán)簇腔體； 采購(gòu)數(shù)量：套； 采購(gòu)標(biāo)的物要求：兼容英寸及以下晶圓，真空度達(dá)到-量級(jí)，真空檢漏漏率：小于×-./機(jī)械手伸長(zhǎng)的最長(zhǎng)距離為毫米，定位精度達(dá)到.毫米。團(tuán)簇超高真空腔室、團(tuán)簇系統(tǒng)與工作站設(shè)備對(duì)接系統(tǒng)、團(tuán)簇控制系統(tǒng)，確保樣品能夠在不同表征設(shè)備之間無縫傳輸，避免因樣品轉(zhuǎn)換而導(dǎo)致的性能損失。貨期個(gè)月，提供現(xiàn)場(chǎng)培訓(xùn)，保質(zhì)年；保期內(nèi)承諾提供免費(fèi)人工與部件，小時(shí)響應(yīng)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。