二維材料真空轉(zhuǎn)移設(shè)備(英寸向下兼容) 項目所在采購意向: 年月政府采購意向 采購單位: 采購項目名稱: 二維材料真空轉(zhuǎn)移設(shè)備(英寸向下兼容) 預算金額: .萬元(人民幣) 采購品目: 電氣物理設(shè)備 采購需求概況 : 采購標的物名稱:二維材料真空轉(zhuǎn)移設(shè)備(英寸向下兼容); 采購數(shù)量:臺; 采購標的物要求:實現(xiàn)英寸晶圓無損低污染轉(zhuǎn)移,實現(xiàn)轉(zhuǎn)移完整率&;.%,可以向下兼容不同晶圓尺寸。無污染、無損傷、快速高效且可大面積轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移方法是實現(xiàn)二維材料工業(yè)化高質(zhì)量關(guān)鍵工藝;英寸為兼容后續(xù)期間工藝;用于二維材料的轉(zhuǎn)移技術(shù)探索,貨期:合同簽訂后年,保修期:年,提供現(xiàn)場技術(shù)咨詢,提供免費培訓, 預計采購時間: - 備注: 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。
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