磁控濺射設(shè)備 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 磁控濺射設(shè)備 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 電氣物理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的物名稱(chēng)：磁控濺射設(shè)備； 采購(gòu)數(shù)量：臺(tái)； 采購(gòu)標(biāo)的物要求：均一性：英寸范圍內(nèi)薄膜（薄膜，、、）均勻性&;%。半導(dǎo)體器件金屬互聯(lián)與功能層制備的核心儀器實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)高致密金屬層（//）、高κ氧化物介質(zhì)層（？/？？）及氮化物鈍化層（/）的可控沉積，構(gòu)筑低電阻、高粘附性的復(fù)合薄膜體系，且滿(mǎn)足后續(xù)器件工藝所需的熱穩(wěn)定性與界面兼容性要求。到貨周期：合同簽訂，預(yù)付款完成后的個(gè)月內(nèi)；保修期：驗(yàn)收后年，提供培訓(xùn)和終生技術(shù)支持。保內(nèi)維修承諾：免費(fèi)更換維修，無(wú)人工費(fèi)用；報(bào)修完成時(shí)間：一周內(nèi) 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。