吋射線光電子能譜儀 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項(xiàng)目名稱： 吋射線光電子能譜儀 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -射線式分析儀器 采購需求概況 ： 鍵合工藝參數(shù)和鍵合后界面質(zhì)量強(qiáng)烈依賴于激活后介質(zhì)和金屬的組成成分和化學(xué)價態(tài)，射線光電子能譜儀是對材料表界面組成成分和化學(xué)價態(tài)進(jìn)行分析的必要表征設(shè)備，因此急需利用此設(shè)備開展芯片至晶圓鍵合表界面的組成成分和化學(xué)價態(tài)分析，支撐激活和鍵合工藝的開發(fā)。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。