等離子體增強化學氣相沉積設備 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 等離子體增強化學氣相沉積設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 設備名稱：等離子體增強化學氣相沉積設備。采購數(shù)量；臺。采購標的主要功能：用于生長氧化硅、氮化硅、氧化硅、-薄膜，鍍膜均勻性≤±%，質(zhì)量、服務、安全、時限：提供英寸晶圓生長腔體，具備個腔體生長氧化硅、氮化硅、氧化硅、-薄膜，有英寸傳輸平臺與片庫，提供設備驗收合格后年質(zhì)保及一體化環(huán)境工程整體解決方案；設備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。